1、招標條件
項目概況:6英寸IGCT動態參數測試系統、膜厚儀、臺階儀采購項目
資金到位或資金來源落實情況:已落實
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:0623-1940J1110100/01
招標項目名稱:6英寸IGCT動態參數測試系統、膜厚儀、臺階儀采購項目
項目實施地點:中國湖南省
招標產品列表(主要設備):
| 序號 | 產品名稱 | 數量 | 簡要技術規格 | 備注 |
| 包1 | 6英寸IGCT動態參數測試系統 | 1臺/套 | 1）計算機控制的自動化測試系統，能進行6英寸及以下IGCT器件的動態開關參數測試，包括標準開關參數測試和極限開關參數測試。 2）測試直流電壓：200～4500V，最大電流20000A。 | 以上設備按包確定中標人，包中內容及服務不予拆分。 |
| 包2 | 膜厚儀 | 1臺/套 | 1）能夠測量硅和碳化硅晶圓上的碳膜、SiO2膜、PSG膜、BPSG膜、多晶硅膜、氮化硅膜、光刻膠膜、PI膠膜等；能夠對折射率n、消光系數k等薄膜特性參數進行測量和分析。 2）能夠兼容4英寸和6英寸晶圓，包括硅片與碳化硅片。 | 以上設備按包確定中標人，包中內容及服務不予拆分。 |
| 包3 | 臺階儀 | 1臺/套 | 1）設備用于SiC功率器件制造過程中，在刻蝕工藝之后測量溝槽的深度和寬度。 2）能夠兼容4英寸和6英寸晶圓，包括硅片與碳化硅片。 | 以上設備按包確定中標人，包中內容及服務不予拆分。 |
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:包一：6英寸IGCT動態參數測試系統 設備
1、投標人具有所投設備的制造或銷售資格，所投設備制造商2015年1月至本項目投標截止時間之前相近類型設備業績合計不低于5臺。（投標文件中必須提供訂單或合同復印件或制造商出具的其他有效證明材料）。
注：相近類型設備主要指大功率半導體動態測試設備，包括晶閘管、二極管、IGBT、IGCT等大功率器件或組件的動態參數測試設備。
2、投標人如為貿易公司，必須隨投標文件提供制造商針對本項目的《制造商授權書》原件。
包二：膜厚儀 設備
1、投標人具有所投設備的制造或銷售資格，投標人2017年1月至本項目投標截止時間之前同型號設備業績合計不低于4臺。（投標文件中必須提供訂單或合同復印件或制造商出具的其他有效證明材料）。
2、投標人如為貿易公司，必須隨投標文件提供制造商針對本項目的《制造商授權書》原件。
包三：臺階儀 設備
1、投標人具有所投設備的制造或銷售資格，投標人2017年1月至本項目投標截止時間之前同類設備業績合計不低于3臺。（投標文件中必須提供訂單或合同復印件或制造商出具的其他有效證明材料）。
2、投標人如為貿易公司，必須隨投標文件提供制造商針對本項目的《制造商授權書》原件
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2019-09-19
招標文件領購結束時間:2019-09-26
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購
5、投標文件的遞交
投標截止時間（開標時間）:2019-10-10 10:00
投標文件 評標結果將在必聯網和 公示。
7、
