上海交通大學(xué)物理與天文學(xué)院感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目招標(biāo)公告
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項(xiàng)目名稱 |
物理與天文學(xué)院感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目 |
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項(xiàng)目編號(hào) |
招(設(shè))[2019][B]085號(hào) |
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項(xiàng)目?jī)?nèi)容 |
采購(gòu)內(nèi)容：感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)； 數(shù) 量：1臺(tái) 預(yù)算金額：人民幣98.00萬(wàn)元。 簡(jiǎn)要規(guī)格描述或項(xiàng)目基本概況介紹：2.1本底真空: 優(yōu)于 5×10^-4 Pa；★2.2射頻電源： Source功率不低于1200W， Bias功率不低于1000W，射頻電源帶自動(dòng)匹配器。其余詳見“第五部分設(shè)備技術(shù)規(guī)格與商務(wù)要求” |
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交貨地點(diǎn) |
交大用戶指定地點(diǎn) |
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交貨期 |
簽訂合同后三個(gè)月內(nèi) |
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付款方式 |
預(yù)付30%，驗(yàn)收合格后付60%，質(zhì)保期后付10% |
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招標(biāo) | |||
項(xiàng)目 聯(lián)系人：李楊
咨詢電話：010-51957458
傳真：010-51957412
手機(jī)：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com
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編輯：chinabidd
