招標公告

混合離子束濺射薄膜沉積系統(tǒng)項目已具備招標條件。資金來源為專項資金，中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國科學院光電技術研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1貨物

1.2招標編號：0779-23400903A021。 

1.3主要功能要求:混合離子束濺射薄膜沉積系統(tǒng)主要由高真空系統(tǒng)、離子束濺射系統(tǒng)、基片裝載和運動系統(tǒng)，、基片加熱系統(tǒng)、光學膜厚控制系統(tǒng)等組成，具備人工操作和全自動薄膜沉積控制功能。

1.4主要技術要求：

①　真空室極限真空≤2x10-7mbar，真空室漏率≤5.0x10-5 mbar.l/s；

②　雙離子源均為射頻源，其中主離子源離子束直徑≥15cm，最大離子能量>1keV，最大離子束流≥600mA，輔助離子源離子束直徑≥8cm；

③　鍍膜光學元件要求：最大直徑≥ Φ500mm，重量≥50kg；

④　膜厚非均勻性要求：Φ500mm口徑非均勻性≤±0.5%；

1.5數(shù)量：2套。

1.6交貨期：分批交貨，第一套合同簽訂后10個月完成制造和預驗收，12個月貨到客戶現(xiàn)場；第二套合同簽訂后13個月完成制造和預驗收，15個月貨到客戶現(xiàn)場。

1.7 項目現(xiàn)場：中國科學院光電技術研究所（四川省成都市雙流縣西南航空港光電大道1號）。

2. 對投標人的資格要求

2.1 本次招標要求投標人為獨立法人單位，并具有與本招標項目相應的供貨能力，提供有效的營業(yè)登記等許可經營的證明文件。

2.2 所投產品業(yè)績：投標人須提供至少2臺的本次所投產品同類型的設備銷售業(yè)績，提供銷售合同復印件。合同內容應能體現(xiàn)甲乙雙方蓋章或簽字頁、標的物名稱、制造商名稱等主要內容。

2.3 本次招標接受代理商投標，代理商必須得到制造商同意其在本次投標中提供該貨物的正式授權書。

2.4本次招標不接受聯(lián)合體投標。

2.5投標人必須向招標代理機構

3. 招標

4. 投標文件的遞交

4.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2023年10月08日13時30分，地點為四川省成都市雙流區(qū)劍南大道南段1166號美行中心7樓704室。

4.2逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

5. 開標

開標時間同投標文件遞交的截止時間，開標地點同投標文件遞交地點。

6.

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