蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易 對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2025-01-24在公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。1、招標(biāo)條件項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱：低溫TEOS；數(shù)量：1臺(tái)；設(shè)備原理及用途：PECVD是腔室在低壓高溫條件下，通入反應(yīng)氣體，形成等離子體，進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，在硅片表面淀積薄膜。PECVD主要用于產(chǎn)品中二氧化硅、氮化硅的制備。低溫TEOS（170℃）機(jī)臺(tái)主要用于麥克風(fēng)產(chǎn)品的犧牲層，低溫主要是為了平衡麥克風(fēng)產(chǎn)品正反面腐蝕的速度以及防止金屬層發(fā)生變化（Cr/Au擴(kuò)散）。資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已到位項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備2、招標(biāo)內(nèi)容招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0664-2540SUMECA28/01招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之低溫TEOS項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱	數(shù)量	簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格	備注
1	低溫TEOS	1	晶圓尺寸：8英寸雙面拋光，notch，厚度：300μm～800 μm。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章	無(wú)

3、投標(biāo)人資格要求投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè)，提供企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書，如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書。③投標(biāo)人開(kāi)戶行開(kāi)具的，出具日期在開(kāi)標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力（提供相關(guān)證明材料或承諾書，承諾書格式自擬）。⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書原件。是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以4、
未曾在中國(guó)電力招標(biāo)采購(gòu)網(wǎng)（m.bidijas.cn）上注冊(cè)會(huì)員的單位應(yīng)先注冊(cè)。登錄成功后根據(jù)招標(biāo)公告的相說(shuō)明下載投標(biāo)文件！

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