1. 招標條件

本招標項目12英寸非接觸式光刻機 該項目已具備招標條件，現對12英寸非接觸式光刻機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250915A005

2.2 招標項目名稱：12英寸非接觸式光刻機。

2.3 數量：1套。

2.4 核心技術指標：

2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）

2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸

2.4.3 分辨率：優于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)

2.4.4 套刻精度：優于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光時間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個多邊形結構）

2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm

2.5 交貨

2.6 交貨期：合同生效后5個月內。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2本次招標接受代理商投標。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4其他要求：授權代表須提供投標截止時間前最近6個月中任意1個月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標人繳納，需要提供委托代理人和投標人之間的用工合同，投標人委托第三方投保的有效合同證明）。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

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編輯：365trade