一、項目信息

采購人：廣東省科學院半導體研究所

項目名稱：廣東省科學院半導體研究所多功能電子束仿真軟件升級采購項目

擬采購的貨物或者服務的說明：

廣東省科學院半導體研究所（以下簡稱“采購人”）于2024年已通過國內公開招標的采購方式，向國內潛在供應商發出投標邀請，但最終未有三家投標人應標。團隊最終通過國內公開招標轉單一來源談判的采購方式向英國Munro’s Electron Beam Software Ltd.（以下簡稱“Munro公司”）在中國境內唯一的授權銷售總代理廣州航賽進出口有限公司購置了多功能電子束仿真軟件（Munro’s Electron Beam Software，以下簡稱MEBS軟件）的17個模塊。采購人通過采購MEBS軟件顯著提升了科研條件和研發能力。現因“電子束關鍵尺寸量測顯微鏡（CD SEM）”項目需求，采購人需在已實施采購的MEBS軟件17個模塊的基礎上新增WIEN和WIEN-REFINE模塊（以及原有已采購軟件中的9個模塊授權使用），用于電子束光刻機及電子束關鍵尺寸量測顯微鏡設備的研制。新增模塊的主要技術參數須滿足以下條件：

（一）仿真電子運動軌跡精度：5nm；

（二）實現信號電子的偏轉功能；

（三）實現三級像差計算分析。

此外，為滿足采購人軟件使用人數增加的需求，計劃在已實施采購的17個模塊的基礎上新增1個用戶權限（即新增1個USB加密狗），以進一步提升電子束光刻機、電子束量測顯微鏡等高端電子束裝備的設計服務能力。

擬采購的貨物或服務的預算金額（元）：353,932.00

采用單一來源采購方式的原因及說明：

（一）原因

根據《廣東省財政廳關于規范省級單一來源采購方式審批和進口產品核準管理有關事項的通知》第一條的規定，本項目屬于以下規定的第(1)種情形:

1.因貨物或者服務使用不可替代的專利、專有技術，導致只能從某一特定供應商處采購的；

2.公共服務項目具有特殊要求，只能從某一特定供應商處采購的；

3.發生了不可預見的緊急情況不能從其他供應商處采購的；

4.必須保證原有采購項目一致性或者服務配套的要求，需要繼續從原供應商處添購，且添購資金總額不超過原合同采購金額百分之十的；

5.公開招標數額標準以上的采購項目，投標（報價）截止后投標（報價）人僅有1家或者通過資格審查或符合性審查的投標（報價）人僅有1家的，經專家論證，采購文件沒有不合理條款、采購程序符合規定的。

（二）說明

1.采購人熱管理團隊的主要研究方向為電子束技術及相關裝備的研制。團隊于2024年購置了MEBS軟件中的17個模塊，具體清單如下表所示：

目前，該軟件仍處于正常運行狀態，能夠滿足采購人對電子槍設計、靜電和磁透鏡設計、動態校正元件設計以及電子光學柱優化設計的需求。然而，采購人現有軟件模塊不具備電子束維恩濾波器設計的功能，因此需要在原基礎上新增WIEN和WIEN-REFINE模塊（以及原有已采購軟件中的9個模塊授權使用）以滿足采購人的研制需求。WIEN模塊主要用于維恩濾波器主光路的仿真設計，WIEN-REFINE模塊主要用于維恩濾波器電子光路的自動迭代優化。新增模塊在電子運動軌跡仿真精度方面達到5 nm，能夠實現信號電子的偏轉功能，支持包含圓透鏡、多極透鏡和維恩濾波器在內的電子束光柱體設計，并具備三級像差計算分析能力。這些功能將有力支撐電子束光刻機及電子束關鍵尺寸量測顯微鏡（CD SEM）設備的研制，可滿足采購人團隊的研究需求。此外，隨著采購人團隊的發展壯大，現有軟件的使用人數不斷增加，因此還需要在現有已實施采購的17個模塊基礎上新增1個USB加密狗，以滿足采購人更多研究人員的使用需求。

2.MEBS軟件是唯一由英國Munro公司研發的電子束技術領域內廣泛認可的商業化設計軟件。該軟件采用二階有限元方法，具有高精度特點，能夠滿足電子光學部件的電磁場計算、像差分析、軌跡追蹤、電子光柱體系統設計和電子束維恩濾波器設計等多方面需求。目前，MEBS軟件在國內市場競爭性較低，屬于高度壟斷產品，且暫無相關國產化替代軟件能符合采購人目前的科研需求。由于MEBS軟件是唯一由Munro公司研發設計的，Munro公司在中國地區目前只唯一授權了廣州航賽進出口有限公司作為銷售總代理，其擁有自主知識產權和相關技術，其他公司或機構無法提供該技術指標的同類軟件升級服務。

綜上所述，采購人因需在現有MEBS軟件17個模塊的基礎上新增WIEN和WIEN-REFINE模塊以及新增一個USB加密狗以滿足更多使用人數需求，而MEBS軟件由Munro公司獨家研發設計，其擁有自主知識產權和相關技術，軟件功能新增、版本升級等技術服務均只有原廠能夠提供。同時，Munro公司在中國地區唯一授權了廣州航賽進出口有限公司作為銷售總代理。符合《中華人民共和國政府采購法》單一來源適用情況中“只能從唯一供應商處采購的”的情形及《廣東省財政廳關于規范省級單一來源采購方式審批和進口產品核準管理有關事項的通知》“因貨物或者服務使用不可替代的專利、專有技術，導致只能從某一特定供應商處采購的”的情形。基于上述原因，現擬采用單一來源采購方式向Munro公司在中國境內唯一授權的銷售總代理廣州航賽進出口有限公司進行采購。

二、擬定供應商信息：

名稱：廣州航賽進出口有限公司

地址：廣州市天河區粵墾路68號801房（部位：801-5室）（僅限辦公）

三、公示期限

2025年2月20日至2025年2月27日

四、其他補充事宜

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五、聯系方式

1.采購人

聯系人： 廣東省科學院半導體研究所

聯系地址：廣州市天河區長興路363號

聯系電話：馮先生 020-87716075-8023

2.采購代理機構

聯系人：溫先生、蘇先生

聯系地址：廣州市先烈中路100號科學院大院9號樓東座2樓

聯系電話：020-37674721、020-87687651

發布人：廣州市國科招標代理有限公司

發布時間：2025年2月20日