1. 招標(biāo)條件
本招標(biāo)項(xiàng)目12英寸非接觸式光刻機(jī)招標(biāo)人為中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所，招標(biāo)項(xiàng)目資金來(lái)自國(guó)撥資金，出資比例為100%。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)12英寸非接觸式光刻機(jī)進(jìn)行國(guó)內(nèi)公開(kāi)招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20250915A008
2.2 招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng)：12英寸非接觸式光刻機(jī)。
2.3 數(shù)量：1套。
2.4 核心技術(shù)指標(biāo)：
2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）
2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸
2.4.3 分辨率：優(yōu)于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)
2.4.4 套刻精度：優(yōu)于±350nm @ 8英寸
2.4.5 曝光時(shí)間：≤120s @300mj（8英寸全片超過(guò)1.4億個(gè)多邊形結(jié)構(gòu)）
2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm
2.5 設(shè)備要求：非進(jìn)口設(shè)備、全新、完整、未使用過(guò)
2.6 交貨地點(diǎn)：中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所。
2.7 交貨期：合同生效后5個(gè)月內(nèi)。
3. 投標(biāo)人資格要求
3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國(guó)境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書(shū)或其它營(yíng)業(yè)登記證書(shū)。
3.2本次招標(biāo)不接受代理商投標(biāo)。
3.3本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.4其他要求：授權(quán)代表須提供投標(biāo)截止時(shí)間前最近6個(gè)月中任意1個(gè)月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標(biāo)人繳納，需要提供委托代理人和投標(biāo)人之間的用工合同，投標(biāo)人委托第三方投保的有效合同證明）。
3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買(mǎi)招標(biāo)文件才具有投標(biāo)資格。
4. 招標(biāo)文件的獲取
4.1凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于2025年6月9日至2025年6月16日17時(shí)(北京時(shí)間)，登陸中招聯(lián)合招標(biāo)采購(gòu)平臺(tái)（網(wǎng)址：www.365trade.com.cn,注冊(cè)操作咨詢(xún)電話(huà)010-86397110）購(gòu)買(mǎi)并下載招標(biāo)文件，現(xiàn)場(chǎng)不予受理。
4.2 招標(biāo)文件每套售價(jià)800元(從中招聯(lián)合招標(biāo)采購(gòu)平臺(tái)下載電子發(fā)票），售后不退。
5. 投標(biāo)文件的遞交
5.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2025年7月1日9時(shí)00分，地點(diǎn)為上海市虹口區(qū)玉田路500號(hào)，十五號(hào)樓一樓會(huì)議室。
5.2逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。
6. 發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時(shí)在中招聯(lián)合招標(biāo)采購(gòu)平臺(tái)和中國(guó)招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺(tái)上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
招標(biāo)人名稱(chēng)：中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
地址：上海市虹口區(qū)玉田路500號(hào)
聯(lián)系人：陶鑫寧
電話(huà)：021-25051445
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：中科信工程咨詢(xún)（北京）有限責(zé)任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓
售賣(mài)聯(lián)系人：劉女士
電話(huà)：010-88529059
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：賈夢(mèng)星
電話(huà)：010-68388750
傳真：010-88529153
電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com
2025年6月9日
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